Analýza magnetronové depozice povrchové TiAlN a TiB2 multivrstvy – Bc. Ha My HOANG
Bc. Ha My HOANG
Diplomová práce
Analýza magnetronové depozice povrchové TiAlN a TiB2 multivrstvy
Analysis of magnetron deposition of surface TiAlN and TiB2 multilayers
Anotace:
Cílem diplomové práce je analýza výsledků měřících metod magnetronové depozice povrchové TiAlN a TiB2 multivrstvy a jejich vyhodnocení. V teoretické části je popsána problematika PVD depozice a tenkých vrstev, magnetronového naprašování, konkrétně metody HiPIMS. Praktickou část tvoří výsledky měření a jejich diskuze s cílem získat konkrétní závěry a doporučení pro další experimenty.Abstract:
The aim of the thesis is to analyze the results of measurement methods of magnetron deposition of surface TiAlN and TiB2 multilayers and their evaluation. The theoretical part describes the issues of PVD deposition and thin films, magnetron sputtering, specifically the HiPIMS method. The practical part consists of the measurement results and their discussion in order to obtain specific conclusions …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 13. 5. 2024
Zveřejnit od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: doc. PhDr. Jan Novotný, Ph.D.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
HOANG, Ha My. \textit{Analýza magnetronové depozice povrchové TiAlN a TiB2 multivrstvy}. Online. Diplomová práce. Ústí nad Labem: Univerzita Jana Evangelisty Purkyně v Ústí nad Labem, Fakulta strojního inženýrství. 2024. Dostupné z: https://theses.cz/id/qdt0le/.
Jak správně citovat práci
HOANG, Ha My. Analýza magnetronové depozice povrchové TiAlN a TiB2 multivrstvy. Ústí nad Labem, 2024. diplomová práce (Ing.). UNIVERZITA JANA EVANGELISTY PURKYNĚ V ÚSTÍ NAD LABEM. Fakulta strojního inženýrství
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: UNIVERZITA JANA EVANGELISTY PURKYNĚ V ÚSTÍ NAD LABEM, Fakulta strojního inženýrstvíUNIVERZITA JANA EVANGELISTY PURKYNĚ V ÚSTÍ NAD LABEM
Fakulta strojního inženýrstvíMagisterský studijní program / obor:
Materiálové inženýrství / Materiálové inženýrství