Zařízení pro depozici organických materiálů

Bc. Petr ŠAFÁŘ

Diplomová práce

Equipment for organic materials deposition

Anotace:

Tato diplomová práce se zabývá problematikou depozice organických materiálů. První část práce je věnována jednotlivým metodám, pomocí kterých se vytváří tenké vrstvy organických materiálů na substrátech. Hlavní část diplomové práce je zaměřena na metodu odstředivého nanášení, tzv. spin ? coating. Metoda odstředivého nanášení je v této části popsána mnohem podrobněji než ostatní metody, protože informace v ní obsažené jsou hlavním podkladem pro návrh depozičního zařízení. Další část práce je zaměřena na návrh a výrobu zařízení pro depozici organických materiálů. Poslední část této diplomové práce popisuje měření na depozičním zařízení a tvorbu série vzorků s tenkými vrstvami.

Abstract:

This diploma thesis deals with the deposition of organic materials. The first part of the thesis describes various methods of deposition. The main part of the thesis is aimed at the method of spin-coating. The method of spin-coating is descibed in detail because the information on this method is important for the design of the equipment for organic materials deposition. Next part of the thesis is aimed at the design and production of the equipment for organic materials deposition. The last part of the thesis describes the measurement and creation of series of specimen with a thin film.

Klíčová slova

Fyzikální depozice, Chemická depozice, Odstředivé nanášení, Ftalocyanin.

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 9. 5. 2011

Identifikátor: 40840

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Ing. Jan Řeboun, Ph.D.

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta elektrotechnická

Magisterský studijní program / obor:
Elektrotechnika a informatika / Komerční elektrotechnika