Vysokoteplotní vrstvy Si-B-C-N a multifunkční vrstvy (Zr)-B-C-(N) připravené pulzním magnetronovým naprašováním – Ing. Petr STEIDL
Ing. Petr STEIDL
Doctoral thesis
Vysokoteplotní vrstvy Si-B-C-N a multifunkční vrstvy (Zr)-B-C-(N) připravené pulzním magnetronovým naprašováním
High-temperature Si-B-C-N coatings and multifunctional (Zr)-B-C-(N) coatings prepared by pulsed magnetron sputtering
Abstract:
První část dizertační se zabývá podrobnou studií mikrostruktury a mechanických a optických vlastností vrstev Si-B-C-N připravených reaktivní pulzní magnetronovou depozicí a následně žíhaných až do 1700°C ve vzduchu a inertních plynech. Druhá část dizertační práce je zaměřena na přípravu a studium vlastností vrstev (Zr)-B-C-(N). Pulzní reaktivní magnetronové naprašování při frekvenci pulzů 10 kHz s …moreAbstract:
The first part of the thesis is focused on the detailed study of the microstructure and mechanical and optical properties of Si-B-C-N films prepared by reactive pulsed magnetron sputtering and consequently treated in air and inert gases up to 1700°C. The second part of the thesis is focused on the preparation and study of properties of (Zr)-B-C-(N) films. A pulsed reactive magnetron sputtering at a …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 23. 4. 2015
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
STEIDL, Petr. \textit{Vysokoteplotní vrstvy Si-B-C-N a multifunkční vrstvy (Zr)-B-C-(N) připravené pulzním magnetronovým naprašováním}. Online. Doctoral theses, Dissertations. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2015. Available from: https://theses.cz/id/qmn6b3/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
STEIDL, Petr. Vysokoteplotní vrstvy Si-B-C-N a multifunkční vrstvy (Zr)-B-C-(N) připravené pulzním magnetronovým naprašováním. Plzeň, 2015. disertační práce (Ph.D.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesDoctoral programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Plasma Physics and Physics of Thin Films
Theses on a related topic
-
Nanokrystalické multikomponentní vrstvy připravené pulzním magnetronovým naprašováním
Jiří KOHOUT -
Multikomponentní keramické vrstvy připravené pulzním magnetronovým naprašováním
Tomáš KUBÁSEK -
Vysokoteplotní chování metastabilních oxidových a multikomponentních neoxidových vrstev
Šárka ZUZJAKOVÁ -
Multikomponentní vrstvy s vysokou teplotní stabilitou připravené pulzním reaktivním magnetronovým naprašováním
Veronika ŠÍMOVÁ -
Magnetronové naprašování vrstev s vylepšenými mechanickými a tribologickými vlastnostmi
Daniel JAVDOŠŇÁK -
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Příprava vrstevy typu Mo2BC pomocí pulzního magnetronového naprašování a jejich analýza
Stanislava Debnárová -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV