Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia – Ing. Jiří REZEK
Ing. Jiří REZEK
Doctoral thesis
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia
Reactive high-power impulse magnetron sputtering of oxide and oxynitride films of tantalum and zirconium
Abstract:
Vysokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování je v současné době intenzivně zkoumanou metodou pro přípravu nových tenkovrstvých materiálů na bázi oxidů a oxynitridů. Tato disertační práce se zaměřuje na přípravu tenkovrstvých materiálů ZrO2, Ta2O5, Zr-Ta-O a Ta-O-N a na vyšetřování vlivu depozičních podmínek na výbojové charakteristiky a materiálové charakteristiky připravených materiálů …moreAbstract:
Reactive high-power impulse magnetron sputtering is an intensely investigated method for preparation of novel thin-film materials based on oxides and oxynitrides. In this thesis, the preparation of films based on ZrO2, Ta2O5, Zr-Ta-O and Ta-O-N is described. Moreover, the effect of deposition conditions on discharge characteristics and material characteristics was investigated. Stoichiometric, optically …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 4. 9. 2013
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Supervisor: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
REZEK, Jiří. \textit{Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia}. Online. Doctoral theses, Dissertations. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2013. Available from: https://theses.cz/id/qs54nw/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
REZEK, Jiří. Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia. Plzeň, 2013. disertační práce (Ph.D.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědUniversity of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesDoctoral programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Plasma Physics and Physics of Thin Films
Theses on a related topic
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Sergei ZENKIN -
Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu
Kristína Tomanková -
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Roman SPLÍTEK -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Zuzana ČIPEROVÁ