Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia – Ing. Jiří REZEK
Ing. Jiří REZEK
Doctoral thesis
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia
Reactive high-power impulse magnetron sputtering of oxide and oxynitride films of tantalum and zirconium
Anotácia:
Vysokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování je v současné době intenzivně zkoumanou metodou pro přípravu nových tenkovrstvých materiálů na bázi oxidů a oxynitridů. Tato disertační práce se zaměřuje na přípravu tenkovrstvých materiálů ZrO2, Ta2O5, Zr-Ta-O a Ta-O-N a na vyšetřování vlivu depozičních podmínek na výbojové charakteristiky a materiálové charakteristiky připravených materiálů …viacAbstract:
Reactive high-power impulse magnetron sputtering is an intensely investigated method for preparation of novel thin-film materials based on oxides and oxynitrides. In this thesis, the preparation of films based on ZrO2, Ta2O5, Zr-Ta-O and Ta-O-N is described. Moreover, the effect of deposition conditions on discharge characteristics and material characteristics was investigated. Stoichiometric, optically …viac
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 4. 9. 2013
Zverejniť od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Vedúci: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
REZEK, Jiří. \textit{Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia}. Online. Dizertačná práca. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, Faculty of Applied Sciences. 2013. Dostupné z: https://theses.cz/id/qs54nw/.
Jak správně citovat práci
REZEK, Jiří. Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia. Plzeň, 2013. disertační práce (Ph.D.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědUniversity of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesDoctoral programme / odbor:
Applied Sciences and Computer Engineering / Plasma Physics and Physics of Thin Films
Práce na příbuzné téma
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Sergei ZENKIN -
Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu
Kristína Tomanková -
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Roman SPLÍTEK -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Zuzana ČIPEROVÁ