Příprava a charakterizace tenkých vrstev transparentních vodivých oxidů pomocí magnetronového naprašování – Bc. Jan KOLOROS
Bc. Jan KOLOROS
Master's thesis
Příprava a charakterizace tenkých vrstev transparentních vodivých oxidů pomocí magnetronového naprašování
Abstract:
Hlavním tématem této diplomové práce je depozice transparentních vodivých oxidů mědi pomocí magnetronového naprašování a měření jejich elektrických a transparentních vlastností, jako je elektrická rezistivita, koncentrace, pohyblivost volných nosičů náboje a optická transparentnost připravovaných tenkých vrstev. Jednotlivé připravované tenké vrstvy se liší svými depozičními podmínkami, jako stěžejní …moreAbstract:
The main topic of this diploma thesis is the deposition of transparent conductive copper oxides using reactive magnetron sputtering and the measurement of their electrical and transparent properties, such as electrical resistivity, concentration and mobility of free charge carriers and optical transparency of the prepared thin layers. The individual prepared thin layers differ in their deposition conditions …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 30. 5. 2023
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Supervisor: Ing. Jiří Rezek, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
KOLOROS, Jan. \textit{Příprava a charakterizace tenkých vrstev transparentních vodivých oxidů pomocí magnetronového naprašování}. Online. Master's thesis. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2023. Available from: https://theses.cz/id/rffzcu/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
KOLOROS, Jan. Příprava a charakterizace tenkých vrstev transparentních vodivých oxidů pomocí magnetronového naprašování. Plzeň, 2023. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesMaster programme / field:
Applied Physics and Physical Engineering / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství
Theses on a related topic
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Sergei ZENKIN -
Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu
Kristína Tomanková -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Roman SPLÍTEK