Příprava a charakterizace tenkých vrstev transparentních vodivých oxidů pomocí magnetronového naprašování – Bc. Jan KOLOROS
Bc. Jan KOLOROS
Master's thesis
Příprava a charakterizace tenkých vrstev transparentních vodivých oxidů pomocí magnetronového naprašování
Anotácia:
Hlavním tématem této diplomové práce je depozice transparentních vodivých oxidů mědi pomocí magnetronového naprašování a měření jejich elektrických a transparentních vlastností, jako je elektrická rezistivita, koncentrace, pohyblivost volných nosičů náboje a optická transparentnost připravovaných tenkých vrstev. Jednotlivé připravované tenké vrstvy se liší svými depozičními podmínkami, jako stěžejní …viacAbstract:
The main topic of this diploma thesis is the deposition of transparent conductive copper oxides using reactive magnetron sputtering and the measurement of their electrical and transparent properties, such as electrical resistivity, concentration and mobility of free charge carriers and optical transparency of the prepared thin layers. The individual prepared thin layers differ in their deposition conditions …viac
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 30. 5. 2023
Zverejniť od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Vedúci: Ing. Jiří Rezek, Ph.D.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
KOLOROS, Jan. \textit{Příprava a charakterizace tenkých vrstev transparentních vodivých oxidů pomocí magnetronového naprašování}. Online. Diplomová práca. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, Faculty of Applied Sciences. 2023. Dostupné z: https://theses.cz/id/rffzcu/.
Jak správně citovat práci
KOLOROS, Jan. Příprava a charakterizace tenkých vrstev transparentních vodivých oxidů pomocí magnetronového naprašování. Plzeň, 2023. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesMaster programme / odbor:
Applied Physics and Physical Engineering / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství
Práce na příbuzné téma
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Sergei ZENKIN -
Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu
Kristína Tomanková -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Roman SPLÍTEK