Zpět na vyhledávání

Bc. Petr Skopal

Bachelor's thesis

Simulace měření válcovou sondou v RF plazmatu

Simulation of cylindrical probe measurement in RF plasma
Abstract:
V této bakalářské práci se zabýváme simulacemi sondových měření v RF plazmatu. Studujeme převážně elektrický proud tekoucí na sondu, profily koncentrací částic i průběh potenciálu pro různá napětí na sondě i různé RF amplitudy v průběhu RF periody. Pohyb částic je řešen pomocí metod Particle In Cell a Monte Carlo.
Abstract:
In this thesis we perform the simulations of probe measurements in RF plazma. We study primarily probe current, particle density profiles and potential profiles for different probe voltage and different RF amplitudes in progress of RF period. The motion of particles is solved with methods Particle In Cell and Monte Carlo.
 

Keywords

Simulace Sondová měření RF plazma Válcová sonda Metoda Particle In Cell Metoda Monte Carlo Simulation Probe measurement Cylindrical probe Particle In Cell method Monte Carlo method
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 24. 5. 2018
Identifier: https://is.muni.cz/th/bm926/

Thesis defence

  • Date of defence: 26. 6. 2018
  • Supervisor: prof. RNDr. David Trunec, CSc.
  • Reader: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution