Bc. Petr Skopal

Bakalářská práce

Simulace měření válcovou sondou v RF plazmatu

Simulation of cylindrical probe measurement in RF plasma
Anotace:
V této bakalářské práci se zabýváme simulacemi sondových měření v RF plazmatu. Studujeme převážně elektrický proud tekoucí na sondu, profily koncentrací částic i průběh potenciálu pro různá napětí na sondě i různé RF amplitudy v průběhu RF periody. Pohyb částic je řešen pomocí metod Particle In Cell a Monte Carlo.
Abstract:
In this thesis we perform the simulations of probe measurements in RF plazma. We study primarily probe current, particle density profiles and potential profiles for different probe voltage and different RF amplitudes in progress of RF period. The motion of particles is solved with methods Particle In Cell and Monte Carlo.
 
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 24. 5. 2018

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 26. 6. 2018
  • Vedoucí: prof. RNDr. David Trunec, CSc.
  • Oponent: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta