Adam Dušenka

Bachelor's thesis

Magnetronové naprašování tenkých vrstev

Magnetron sputtering of thin films
Abstract:
Tato bakalářská práce se zabývá přípravou tenkých vrstev stříbra a oxidu zinečnatého metodou magnetronového naprašování a ověřením vlivu depozičních podmínek na jejich vlastnosti. Tenké vrstvy stříbra byly charakterizovány pomocí mikroskopie atomárních sil, čímž byla zjištěna topografie a drsnost vrstvy. Vrstvy oxidu zinečnatého byly mimo jiné podrobeny ještě rentgenové difrakční analýze, která sloužila …more
Abstract:
This bachelor thesis deals with magnetron sputtering deposition of silver and zinc oxide thin films. The effect of deposition conditions is studied on properties of deposited films. A topography and roughness parameters were determined using atomic force microscopy. X-ray diffraction analysis served for determination of phase composition and crystallinity of prepared films. Spectroscopic ellipsometry …more
 
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 6. 5. 2022

Thesis defence

  • Date of defence: 9. 6. 2022
  • Supervisor: Lukáš Halagačka
  • Reader: Martin Foldyna

Citation record

Full text of thesis

Accessibility: Plné texty vysokoškolských kvalifikačních prací obhájených na Vysoké škole báňské - Technické univerzitě Ostrava jsou uloženy v repozitáři DSpace. Přístup k plným textům mají všichni uživatelé bez omezení. Přístup je omezen pouze ve výjimečných případech, zpravidla z důvodu ochrany duševního vlastnictví. Nepřístupné práce jsou označeny jako closedAccess nebo embargoedAccess. Tištěné verze prácí jsou uloženy v Ústřední knihovně VŠB-TUO a jsou prezenčně přístupné ve studovně diplomových prací. Další nakládání s prací (kopírování, opisy, MVS)se řídí Knihovní a výpůjčním řádem Ústřední knihovny VŠB-TUO.

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: VŠB – Technická univerzita Ostrava