Vyvážené a nevyvážené magnetického pole pro průmyslový depoziční reaktor Alcatel SCM 650 – Ing. Mgr. Jana Hanusová
Ing. Mgr. Jana Hanusová
Bachelor's thesis
Vyvážené a nevyvážené magnetického pole pro průmyslový depoziční reaktor Alcatel SCM 650
Balanced and unbalanced magnetics for industrial deposition reactor Alcatel SCM 650
Abstract:
Tato práce se věnuje studiu vyváženého a nevyváženého magnetického pole v depozičním reaktoru Alcatel SCM 650. První část se zabývá základními fyzikálními principy naprašování a vlivem magnetického pole na nabité částice. Byly studovány možnosti realizace vyváženého a nevyváženého magnetronu, jejich vliv na celý depoziční proces. Ve druhé části je popsán způsob měření a klasifikace magnetických polí …moreAbstract:
This work is dedicated to studying of balanced and unbalanced magnetic fields in a deposition reactor Alcatel SCM 650. The first part is concerned with basic physical principles of sputtering and effects of magnetic field on charged particle. Possibilities of realization of a balanced and an unbalanced magnetron were studied, their effect on a whole deposition process. An importance of a null-point …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 25. 5. 2009
Identifier:
https://is.muni.cz/th/taa6m/
Thesis defence
- Date of defence: 29. 6. 2009
- Supervisor: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
HANUSOVÁ, Jana. \textit{Vyvážené a nevyvážené magnetického pole pro průmyslový depoziční reaktor Alcatel SCM 650}. Online. Bachelor's thesis. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2009. Available from: https://theses.cz/id/sogxdn/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics / Physics
Theses on a related topic
- No theses on a related topic available.