Zpět na vyhledávání

Ing. Mgr. Jana Hanusová

Bachelor's thesis

Vyvážené a nevyvážené magnetického pole pro průmyslový depoziční reaktor Alcatel SCM 650

Balanced and unbalanced magnetics for industrial deposition reactor Alcatel SCM 650
Abstract:
Tato práce se věnuje studiu vyváženého a nevyváženého magnetického pole v depozičním reaktoru Alcatel SCM 650. První část se zabývá základními fyzikálními principy naprašování a vlivem magnetického pole na nabité částice. Byly studovány možnosti realizace vyváženého a nevyváženého magnetronu, jejich vliv na celý depoziční proces. Ve druhé části je popsán způsob měření a klasifikace magnetických polí …more
Abstract:
This work is dedicated to studying of balanced and unbalanced magnetic fields in a deposition reactor Alcatel SCM 650. The first part is concerned with basic physical principles of sputtering and effects of magnetic field on charged particle. Possibilities of realization of a balanced and an unbalanced magnetron were studied, their effect on a whole deposition process. An importance of a null-point …more
 

Keywords

naprašování vyvážený magnetron nevyvážený magnetron klasifikace magnetických polí nulový bod sputtering balanced magnetron unbalanced magnetron classification of magnetics null-point
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 25. 5. 2009
Identifier: https://is.muni.cz/th/taa6m/

Thesis defence

  • Date of defence: 29. 6. 2009
  • Supervisor: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution

Masaryk University

Faculty of Science

Bachelor programme / field:
Physics / Physics

Theses on a related topic

List of theses with an identical keyword.
  • No theses on a related topic available.