Pyrometrické měření teploty substrátu během plazmochemické depozice – Mgr. Roman Petráš
Mgr. Roman Petráš
Bachelor's thesis
Pyrometrické měření teploty substrátu během plazmochemické depozice
Pyrometric Measurements of Substrate Temperature during Plasmachemical Deposition
Abstract:
This work deals with non-contact pyrometric temperature measurement of surfaces in a contact with plasma. Two different pyrometers were employed for the experiments depending on the temperature range, i.e. below or above 500°C. It was found that the silicon is transparent in the spectral range of the pyrometers. The correct values of the emissivity were determined from the known silicon optical constants …viacAbstract:
Táto práca sa zaoberá bezkontaktným pyrometrickým meraným teploty povrchov v kontakte s plazmou. V priebehu experimentov boli použité dva rôzne pyrometre v závislosti od rozsahu teplôt, tzn. pod, alebo nad 500°C. Zistilo sa, že kremíky sú priepustné pre vlnové rozsahy pyrometrov. Správne hodnoty emisivity boli stanovené zo známych optických konštánt na základe meraní priepustnosti a odrazivosti v infračervenej …viac
Jazyk práce: Slovak
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 5. 2011
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/rbhbw/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 24. 6. 2011
- Vedúci: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
Citační záznam
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / odbor:
Physics / Physics