Charakterizace optických tenkých vrstev pomocí optické emisní spektroskopie – Bc. Sabina MALECOVÁ
Bc. Sabina MALECOVÁ
Master's thesis
Charakterizace optických tenkých vrstev pomocí optické emisní spektroskopie
Characterization of optical thin films by optical emission spectroscopy
Abstract:
Cílem této práce je využití optické emisní spektroskopie v doutnavém výboji k určení prvkového složení primárně tenkých vrstev nebo vícevrstvých systémů.Pomocí této techniky je možné získat hloubkové profily prvkového složení vodivých i nevodivých materiálů. Charakterizovány byly optické multivrstvy, kovové multivrstvy, hybridní anorganické vrstvy a ochranné TiN vrstvy. Pozornost byla zejména věnována …moreAbstract:
The aim of this thesis is to use optical emission spectroscopy in glow discharge to determine the elemental composition of primarily thin films or multi-layer systems. By using this technique, it is possible to obtain depth profiles of the elemental composition of conductive and non-conductive materials. Optical multilayers, metal multilayers, hybrid inorganic layers and protective TiN layers were …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 26. 8. 2020
Thesis defence
- Supervisor: Mgr. Radim Čtvrtlík, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
MALECOVÁ, Sabina. \textit{Charakterizace optických tenkých vrstev pomocí optické emisní spektroskopie}. Online. Master's thesis. Olomouc: Palacký University Olomouc, Faculty of Science. 2020. Available from: https://theses.cz/id/tyqh6c/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
MALECOVÁ, Sabina. Charakterizace optických tenkých vrstev pomocí optické emisní spektroskopie. Olomouc, 2020. diplomová práce (Mgr.). UNIVERZITA PALACKÉHO V OLOMOUCI. Přírodovědecká fakulta
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: UNIVERZITA PALACKÉHO V OLOMOUCI, Přírodovědecká fakultaPalacký University Olomouc
Faculty of ScienceMaster programme / field:
Physics / Nanotechnology
Theses on a related topic
-
Optická emisní spektroskopie ve vysokovýkonovém impulzním magnetronovém rozprašování multikomponentního terče
Veronika NĚMCOVÁ -
Školní pokusy z optické spektroskopie
Jakub Jedlička -
Optická emisní spektroskopie bariérového výboje
Roman Jíra -
Optická emisní spektroskopie pro diagnostiku nízkoteplotního plazmatu
Filip ČIŽMÁRIK -
Využití optické emisní spektroskopie pro analýzu chemického složení materiálu poloosy
Ondřej Harabiš -
Diagnostika dohasínajícího dusíkového plazmatu metodou optické emisní spektroskopie
Kateřina Kabeláčová -
Studium chemických procesů v klouzavém obloukovém výboji pomocí optické emisní spektroskopie
Štefánia Maďarová -
Mapovaní povrchů pomocí spektroskopie laserem buzeného plazmatu
Jakub Totek
Name
Posted by
Uploaded/Created
Rights