Optical spectroscopy of periodic grating structures

Jan Štýbar

Diplomová práce

Anotace:

Tato práce poskytuje hloubkovou analýzu možností měření a modelování difrakčních vlastností blejzových mřížek a bezkontaktní měření jejich profilu. Představuje automatizační skript napsaný v programovacím jazyce SAX Basic. Tento skript je použit ke zrychlení měření a zlepšení kvality změřených křivek difrakčních účinností. Tato studie také zkoumá možnosti využití Fraunhoferovy aproximace k modelování difrakčního chování a vyvodit z ní profil difrakční mřížky parametrizovaný navrženou funkcí fitnutím tohoto modelu k naměřeným difrakčním účinnostem.

Abstract:

This thesis provides in-depth analysis of diffraction measurement and modelling possibilities of blazed gratings and non-contact determination of their profile. It showcases automation script written in SAX Basic programming language. This script was used to accelerate the diffraction measurement and improve the quality of measured diffraction efficiency spectra. The study also explores possibility of using Fraunhofer approximation to model the diffraction behaviour and infer the profile of the grating parametrized by the proposed function from fitting this model to the measured efficiency spectra.

Klíčová slova

blejzové mřížky, Fourierovská optika, modelování difrakce, měření difrakce, skatterometrie, Python, SAX Basic

Keywords

blazed gratings, Fourier optics, diffraction modelling, diffraction measurement, scatterometry, Python, SAX Basic

Jazyk práce: angličtina

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 28. 4. 2024

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 30. 5. 2024
• Vedoucí: Kamil Postava
• Oponent: Libor Kotačka

VŠB – Technická univerzita Ostrava

Fakulta materiálově-technologická

Magisterský studijní program:
Nanotechnologie