Charakterizace mikrodefektů v monokrystalech Czochralskiho\nl{} křemíku

Bc. Ema Jiroušková

Master's thesis

Characterization of microdefects in Czochralski silicon single crystals

Abstract:

Předkládaná diplomová práce se zabývá studium mikrodefektů ve slabě legovaném N-typovém Czochralskim křemíku. Charakterizace distribuce a charakteru mikrodefektů v křemíkových deskách byla provedena pro dvě skupiny desek lišících se podstoupením kroku denudačního žíhání. Na deskách byly provedeny vysokoteplotní testy s cílem zvýraznit existující mikrodefekty. Analýza mikrodefektů na křemíkových deskách byla provedena pomocí optické mikroskopie a skenovací elektronové mikroskopie s metodou detekce hran a rozptylem laserového svazku. Diplomová práce byla vytvořena za podpory společnosti ON Semiconductor Czech Republic, s. r. o. v Rožnově pod Radhoštěm.

Abstract:

The presented diploma thesis deals with the study of microdefects in lightly doped N-type Czochralski silicon. Characterization of the distribution and nature of microdefects in silicon wafers was performed for two groups of wafers differing in the denudation annealing step. High-temperature tests were conducted on the wafers to highlight existing microdefects. Analysis of microdefects on the silicon wafers was carried out by using optical microscopy and scanning electron microscopy with edge detection method and laser beam scattering. This diploma thesis was created with the support of ON Semiconductor Czech Republic, s.r.o. in Rožnov pod Radhoštěm.

Keywords

Czochralskiho křemík, mikrodefekty, denudační žíhání, vysokoteplotní testy

Language used: Czech

Date on which the thesis was submitted / produced: 9. 5. 2024

Accessible from:: 31. 12. 2999

Thesis defence

• Supervisor: Ing. Lukáš Střižík, Ph.D.

University of Pardubice

Faculty of Chemical Technology

Master programme / field:
Material Engineering / Material Engineering