Šárka BATKOVÁ

Diplomová práce

Kombinovaná depozice vrstev Ta-O-N a kovových klastrů Cu

Combined deposition of Ta-O-N coatings and clusters of copper
Anotace:
Tato práce se zabývá kombinovanou depozicí vrstev na bázi Ta-O-N a nanoklastrů mědi. Vrstvy byly připraveny metodou reaktivní vysokovýkonové pulzní magnetronové depozice při průměrné výkonové hustotě v pulzu 1000 W/cm2. Reaktivní plyny byly do komory přiváděny pomocí keramické trubičky vzdálené 7 mm od terče pro zvýšení stupně disociace reaktivní směsi (zejména dusíku). Byla demonstrována možnost plynulého …více
Abstract:
This thesis deals with combined deposition of Ta-O-N coatings and nanoclusters of copper. The coatings were deposited using reactive high power impulse magnetron sputtering at an average target power density in a pulse of 1000 W/cm2. A ceramic tube placed 7 mm from the target was used for admitting the reactive gases into the vacuum chamber in order to increase the degree of dissociation of the reactive …více
 
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 6. 6. 2016
Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Ing. Jiří Čapek, Ph.D.

Citační záznam

Jak správně citovat práci

BATKOVÁ, Šárka. Kombinovaná depozice vrstev Ta-O-N a kovových klastrů Cu. Plzeň, 2016. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd

Plný text práce

Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných věd
Vázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta aplikovaných věd

Magisterský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství