Kombinovaná depozice vrstev Ta-O-N a kovových klastrů Cu – Šárka BATKOVÁ
Šárka BATKOVÁ
Diplomová práce
Kombinovaná depozice vrstev Ta-O-N a kovových klastrů Cu
Combined deposition of Ta-O-N coatings and clusters of copper
Anotace:
Tato práce se zabývá kombinovanou depozicí vrstev na bázi Ta-O-N a nanoklastrů mědi. Vrstvy byly připraveny metodou reaktivní vysokovýkonové pulzní magnetronové depozice při průměrné výkonové hustotě v pulzu 1000 W/cm2. Reaktivní plyny byly do komory přiváděny pomocí keramické trubičky vzdálené 7 mm od terče pro zvýšení stupně disociace reaktivní směsi (zejména dusíku). Byla demonstrována možnost plynulého …víceAbstract:
This thesis deals with combined deposition of Ta-O-N coatings and nanoclusters of copper. The coatings were deposited using reactive high power impulse magnetron sputtering at an average target power density in a pulse of 1000 W/cm2. A ceramic tube placed 7 mm from the target was used for admitting the reactive gases into the vacuum chamber in order to increase the degree of dissociation of the reactive …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 6. 6. 2016
Zveřejnit od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: Ing. Jiří Čapek, Ph.D.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
BATKOVÁ, Šárka. Kombinovaná depozice vrstev Ta-O-N a kovových klastrů Cu. Plzeň, 2016. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI
Fakulta aplikovaných vědMagisterský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství
Práce na příbuzné téma
-
Tenkovrstvé materiály na bázi Cu-O připravované pomocí HiPIMS pro rozklad vody
Jan VOSEJPKA -
Fotokatalytický rozklad vody oxidovými polovodiči modifikovanými grafenem/grafenoxidem
Jiří Marek -
Studium elektrických a elektrochemických vlastností tenkovrstvých materiálů pro rozklad vody
Jan VOSEJPKA -
Nanokompozity na bázi oxidu titaničitého pro fotokatalytický rozklad vybraných polutantů
Jan ČUNDRLE -
Příprava a využití nanočástic ZnS a CdS pro fotokatalytický rozklad fenolu ve vodných roztocích
Petra Horínková