Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi – Sergei ZENKIN
Sergei ZENKIN
Doctoral thesis
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Reactive magnetron sputtering of thin films with unique properties
Abstract:
Přechodové kovy a jejich oxidy a nitridy jsou široce používány v průmyslových aplikacích, díky vysoké tvrdosti, tepelné stabilitě, transparentnosti (v případě oxidů a některých nitridů) a dalším jedinečným vlastnostem. Tato disertační práce je zaměřena na reaktivní magnetronové naprašování multifunkčních tenkých vrstev na bázi přechodových kovů. Tato práce je rozdělena na 7 hlavních kapitol. Kapitola …moreAbstract:
Early transition metals and their oxides and nitrides are widely used in industrial applications due to their high hardness, thermal stability, transparency (in the case of oxides and some nitrides) and other unique combinations of properties. This PhD thesis is dedicated to the reactive magnetron sputtering of the multifunctional thin films based on transition metals. This thesis is divided onto 7 …more
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 31. 1. 2017
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
ZENKIN, Sergei. \textit{Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi}. Online. Doctoral theses, Dissertations. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2017. Available from: https://theses.cz/id/ujuzm8/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
ZENKIN, Sergei. Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi. Plzeň, 2017. disertační práce (Ph.D.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesDoctoral programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Plasma Physics and Physics of Thin Films
Theses on a related topic
-
Magnetronové naprašování vrstev s vylepšenými mechanickými a tribologickými vlastnostmi
Daniel JAVDOŠŇÁK -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Pulzní magnetronové naprašování multikomponentních vrstev a měření jejich elektrické vodivosti a mechanických vlastností
Michaela KOTRLOVÁ -
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev obsahujících měď a stanovení jejich fyzikálních a mechanických vlastností
Jakub BLAŽEK -
Tvrdé slitinové vrstvy se zvýšenou odolností proti vzniku trhlin
Zuzana ČIPEROVÁ -
Magnetronové naprašování vrstev s vylepšenými mechanickými a tribologickými vlastnostmi
Daniel JAVDOŠŇÁK -
Příprava a vlastnosti hydrofobních nanovrstev
Vojtěch Miller -
Vliv chitosanu na antibakteriální vlastnosti nanovláken
Eliška Prokopcová