Analýza struktury porézních vrstev pomocí mikroskopie atomové síly

Bc. Martin Hasoň

Diplomová práce

Analysis of structure of porous films using atomic force microscopy

Anotace:

V rámci této diplomové práce byla provedena kompletní analýza vrstev TiO2, zejména jejich příčných lomů, pomocí metod mikroskopie skenující sondou. Byla vyzkoušena a zhodnocena metoda pro úpravu drsnosti příčných lomů pomocí leštění diamantovými částicemi. Zároveň bylo navrženo polohovací zařízení, které se může využít pro lepší manipulaci se vzorky u mikroskopů skenující sondou. Byl vytvořen výpočetní model pro přenos tepla mezi vzorkem a hrotem teplotního skenovacího mikroskopu. Naměřené výsledky byly porovnány s numerickými simulacemi.

Abstract:

This thesis contains a complete analysis of TiO2 layers, especially their cross sections, by Scanning probe microscopy. There was tried out and review the cross sections preparation by diamond-elements polishing. There was designed a positioner, which can be used to improve manipulation with the samples. In terms of this thesis was developed a numerical model for solution of heat equation describes the heat transmision between a tip of SThM and a sample. Results of measuring were compared with the simulation.

Klíčová slova

mikroskopie atomárních sil, MAS, mikroskopie modulace síly, teplotní skenovací mikroskopie, metoda konečných prvků, MKP, přenos tepla, sloupcové vrstvy, atomic force microscopy, AFM, force modulation microscopy, FMM, scanning thermal microscopy, SThM, finite element method, FEM, heat transfer, columnar films, TiO2

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 27. 5. 2008

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 12. 6. 2008
• Vedoucí: prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Magisterský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika plazmatu