Studium strukturních vlastností GaN a AlGaN vrstev pomocí metod rtg difrakce – Bc. Tomáš Procházka
Bc. Tomáš Procházka
Master's thesis
Studium strukturních vlastností GaN a AlGaN vrstev pomocí metod rtg difrakce
Study of structural properties of GaN and AlGaN layers using x-ray diffraction methods
Abstract:
GaN a AlGaN mají v současné době stále větší význam v polovodičovém průmyslu. Velká pozornost je věnována zejména přípravě epitaxních vrstev s minimálním množstvím defektů (dislokací). Tato práce se věnuje jednak studiu strukturních vlastností jednotlivých vzorků (tloušťka vrstev, mřížkové parametry, koncentrace AlN a GaN, deformace), ale také je pomocí dvou různých metod určena koncentrace dislokací …moreAbstract:
Recently, GaN and AlGaN have become increasingly important in the semiconductor industry. Great attention is paid to the preparation of epitaxial layers with minimal number of defects (dislocations). This work focuses on the one hand, on the study of structural properties of individual samples (thickness of layers, the lattice parameters, the concentration of AlN and GaN, deformations), but also by …more
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 12. 5. 2016
Identifier:
https://is.muni.cz/th/hhdde/
Thesis defence
- Date of defence: 15. 6. 2016
- Supervisor: Mgr. Ondřej Caha, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / field:
Physics / Condensed Matter Physics
Theses on a related topic
-
Využití rentgenové difrakce pro analýzu polymorfů organických látek, především kokainu
Michaela Kubínová -
Příprava parciálně slinuté hydroxyapatitové keramiky a její charakterizace pomocí obrazové analýzy a rentgenové difrakce
Sabina Amandykova -
Problémy analýzy velikosti částic submikronového WC prášku pomocí metody laserové difrakce mokrou cestou
Alfréd Barsch -
Analýza polymorfních struktur heroinu práškovou rentgenovou difrakcí
Tomáš Lazák -
Metodika kvantitativního stanovení sádrovce metodami RTG práškové difrakce
Petra Pospíšilová