Studium strukturních vlastností GaN a AlGaN vrstev pomocí metod rtg difrakce – Bc. Tomáš Procházka
Bc. Tomáš Procházka
Master's thesis
Studium strukturních vlastností GaN a AlGaN vrstev pomocí metod rtg difrakce
Study of structural properties of GaN and AlGaN layers using x-ray diffraction methods
Anotácia:
GaN a AlGaN mají v současné době stále větší význam v polovodičovém průmyslu. Velká pozornost je věnována zejména přípravě epitaxních vrstev s minimálním množstvím defektů (dislokací). Tato práce se věnuje jednak studiu strukturních vlastností jednotlivých vzorků (tloušťka vrstev, mřížkové parametry, koncentrace AlN a GaN, deformace), ale také je pomocí dvou různých metod určena koncentrace dislokací …viacAbstract:
Recently, GaN and AlGaN have become increasingly important in the semiconductor industry. Great attention is paid to the preparation of epitaxial layers with minimal number of defects (dislocations). This work focuses on the one hand, on the study of structural properties of individual samples (thickness of layers, the lattice parameters, the concentration of AlN and GaN, deformations), but also by …viac
Jazyk práce: English
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 12. 5. 2016
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/hhdde/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 15. 6. 2016
- Vedúci: Mgr. Ondřej Caha, Ph.D.
Citační záznam
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / odbor:
Physics / Condensed Matter Physics
Práce na příbuzné téma
-
Využití rentgenové difrakce pro analýzu polymorfů organických látek, především kokainu
Michaela Kubínová -
Příprava parciálně slinuté hydroxyapatitové keramiky a její charakterizace pomocí obrazové analýzy a rentgenové difrakce
Sabina Amandykova -
Problémy analýzy velikosti částic submikronového WC prášku pomocí metody laserové difrakce mokrou cestou
Alfréd Barsch -
Analýza polymorfních struktur heroinu práškovou rentgenovou difrakcí
Tomáš Lazák -
Metodika kvantitativního stanovení sádrovce metodami RTG práškové difrakce
Petra Pospíšilová