Magnetronová depozice tenkovrstvých slitin ze systému W-Zr-Cu – Bc. Ondřej HODAN
Bc. Ondřej HODAN
Master's thesis
Magnetronová depozice tenkovrstvých slitin ze systému W-Zr-Cu
Abstract:
Tato diplomová práce se zabývá přípravou a zkoumáním magnetronově naprašovaných tenkovrstvých materiálů ze systému W-Zr-Cu. Jedná se o zcela nové materiály, o kterých zatím nebyla publikována žádná studie. Cílem práce bylo připravit tyto materiály s širokém rozsahu složení a charakterizovat je pomocí různých analytických metod. Vrstvy byly zkoumány z hlediska struktury, mikrostruktury a povrchové morfologie …moreAbstract:
This thesis deals with the preparation and investigation of magnetron sputtered thin film materials from the W-Zr-Cu system. These are completely new materials about which no study has been published so far. The aim of the thesis was to prepare these materials in a wide range of compositions and to characterize them using various analytical methods. The films were investigated in terms of structure …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 14. 7. 2023
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Supervisor: Prof. Ing. Petr Zeman, Ph.D.
Citation record
The right form of listing the thesis as a source quoted
HODAN, Ondřej. Magnetronová depozice tenkovrstvých slitin ze systému W-Zr-Cu. Plzeň, 2023. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesMaster programme / field:
Applied Physics and Physical Engineering / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství
Theses on a related topic
-
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní naprašování vrstev s nízkým Youngovým modulem a charakterizace jejich vlastností
Martin VONÁSEK -
Vliv průměrné výkonové hustoty na terči během depozice vrstev HfO2 pomocí reaktivního vysoko-výkonového pulzního magnetronového naprašování
Jan HRUŠKA