Vytváření strukturovaných tenkých vrstev plazmovými tryskami

Mgr. Simona Ivanová

Bachelor's thesis

Creation of thin structured layers by plasma jets

Anotácia:

Tato práce je zaměřena na vytváření tenkých strukturovaných vrstev za použití technologie plazmové tužky a zkoumá vliv depozičních parametrů na jejich utváření. Pro tento účel byl aplikován prekurzor dusičnanu zirkonylu. V teoretické části této práce je popsán princip generování plazmatu pomocí plazmové tužky a je přiblížena problematika deponování tenkých strukturovaných vrstev. V experimentální části jsou definovány pracovní parametry, které mají zásadní vliv na realizaci tenkých strukturovaných vrstev. Dále je zde popsána aparatura, použité chemické sloučeniny a problematika převedení prekurzoru na aerosol.

Abstract:

This work is focused on creating thin structured layers using plasma technology pencils and examines the influence of deposition parameters on their formation. For this purpose it was applied precursor of zirconyl nytrate. In the theoretical part of this work describes the principle of generating plasma using the plasma pencil and an idea of depositing thin structured layers. In the experimental section are defined job parameters affecting the realization of thin structural layers. Then there is described apparatus, methodology, used chemical compounds and the problems of conversion of precursor to the matter.

Kľúčové slová

plazma, plazmová tužka, tenké strukturované vrstvy, aerosol, prekurzor, plasma, plasma pencil, thin structured layers, precursor

Jazyk práce: Czech

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 31. 5. 2010

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 15. 6. 2010
• Vedúci: Mgr. Miloš Klíma, Ph.D.

Masaryk University

Faculty of Science

Bachelor programme / odbor:
Chemistry / Chemistry of Conservation - Restoration