In-situ studie vývoje vnitřního pnutí ve vrstvách připravovaných magnetronovým naprašováním – Mgr. Nikola Tulisová
Mgr. Nikola Tulisová
Bachelor's thesis
In-situ studie vývoje vnitřního pnutí ve vrstvách připravovaných magnetronovým naprašováním
In-situ study of stress evolution in thin films prepared by magnetron sputtering
Abstract:
This thesis is devoted to in-situ stress measurement in a thin films prepared by mag- netron sputtering. Multibeam optical stress sensor (MOSS) was used for measurement. The main objective of this work was to perform correct calibration of MOSS and verify its functionality and usability. Calibration of the optical distance was necessary for proper measurements. The functionality of the device and correctness …moreAbstract:
Táto bakalárska práca sa venuje in-situ meraniu pnutia v tenkých vrstvách pripravovanej magnetrónovým naprašovaním. Pre toto meranie bol použitý mnohozväzkový optický sen- zor na meranie pnutia (Multibeam Optical Stress Senzor - MOSS). Hlavným cieľom tejto práce bola správna kalibrácia prístroja MOSS a overenie jeho funkčnosti a využiteľnosti. Pre správnu kalibráciu bolo nutné nastaviť správnou optickú …more
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 20. 5. 2015
Identifier:
https://is.muni.cz/th/daky1/
Thesis defence
- Date of defence: 23. 6. 2015
- Supervisor: Mgr. Pavel Souček, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
TULISOVÁ, Nikola. \textit{In-situ studie vývoje vnitřního pnutí ve vrstvách připravovaných magnetronovým naprašováním}. Online. Bachelor's thesis. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2015. Available from: https://theses.cz/id/v84mnv/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Applied Physics / Nanotechnology - Applied Physics
Theses on a related topic
-
Magnetron sputtered hard ternary coatings with enhanced fracture toughness
Michael Kroker -
Development of ternary and quaternary nanostructured coatings and their preparation by magnetron sputtering
Stanislava Debnárová -
Development of ternary and quaternary nanostructured coatings and their preparation by magnetron sputtering
Stanislava Debnárová -
Electoral Violence in the Region of the Western Balkan Countries
Michal Mochťak