Zpět na vyhledávání

Mgr. Nikola Tulisová

Bachelor's thesis

In-situ studie vývoje vnitřního pnutí ve vrstvách připravovaných magnetronovým naprašováním

In-situ study of stress evolution in thin films prepared by magnetron sputtering
Abstract:
This thesis is devoted to in-situ stress measurement in a thin films prepared by mag- netron sputtering. Multibeam optical stress sensor (MOSS) was used for measurement. The main objective of this work was to perform correct calibration of MOSS and verify its functionality and usability. Calibration of the optical distance was necessary for proper measurements. The functionality of the device and correctness …more
Abstract:
Táto bakalárska práca sa venuje in-situ meraniu pnutia v tenkých vrstvách pripravovanej magnetrónovým naprašovaním. Pre toto meranie bol použitý mnohozväzkový optický sen- zor na meranie pnutia (Multibeam Optical Stress Senzor - MOSS). Hlavným cieľom tejto práce bola správna kalibrácia prístroja MOSS a overenie jeho funkčnosti a využiteľnosti. Pre správnu kalibráciu bolo nutné nastaviť správnou optickú …more
 

Keywords

Pnutie tenká vrstva magnetrónové naprašovani Stress thin film magnetron sputtering
 
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 20. 5. 2015
Identifier: https://is.muni.cz/th/daky1/

Thesis defence

  • Date of defence: 23. 6. 2015
  • Supervisor: Mgr. Pavel Souček, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution

Masaryk University

Faculty of Science

Bachelor programme / field:
Applied Physics / Nanotechnology - Applied Physics

Theses on a related topic

List of theses with an identical keyword.