Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice termochromických vrstev na bázi VO2

Pavel ČURDA

Bakalářská práce

Anotace:

Tato práce je zaměřena na reaktivní depozici V1-xWxO2 vrstev pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového zdroje a jejich termochromické vlastnosti. Jsou popsány nedostatky současných VO2 vrstev a jejich možné budoucí řešení. Mezi ty patří využití antireflexní vrstvy ke zlepšení optických vlastností a využití dopování wolframu do VO2 struktury ke snížení přechodové teploty. Rozebrána je také depoziční aparatura a analytické metody, jako jsou rentgenová difrakce a spektrofotometrie. Pomocí rentgenové difrakce bylo rozebráno fázové složení V1-xWxO2 vrstev. Je ukázán vliv tloušťky V1-xWxO2 a antireflexní vrstvy na optické vlastnosti V1-xWxO2 měřené pomocí spektrofotometrie.

Abstract:

This thesis is focused on reactive deposition of V1-xWxO2 thin films using High-Power Impulse Magnetron Sputtering and their thermochromic properties. Shortages of current VO2 thin films and posibilities of future solutions are given. Possible solutions are the use of anti-reflexive coating to improve optical properties and co-doping thungsten into VO2 structure to reduce the transition temperature. A description of the deposition system and analytical methods such as X-ray diffraction or spectrophotometry is also given. X-ray diffraction was used to determine the phase composition of V1-xWxO2 films. In this work we show the effect of thickness of V1-xWxO2 films as well as the effect of anti-reflection layer on optical properties of V1-xWxO2 films meassured by spectrophotometry.

Klíčová slova

oxid vanadičitý, termochromické vrstvy, antireflexní vrstva, dopování wolframem, "chytrá" okna

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 30. 5. 2018

Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta aplikovaných věd

Bakalářský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná a inženýrská fyzika