Diagnostika vysokovýkonových pulzních magnetronových výbojů pro reaktivní depozici vrstev

Veronika ŠÍMOVÁ

Bachelor's thesis

Diagnostics of high-power impulse magnetron discharges for deposition of thin films

Anotácia:

Tato bakalářská práce je zaměřena na diagnostiku pulzních výbojů při depozici vrstev prostřednictvím optické emisní spektroskopie. V první části jsou popsány metody magnetronového naprašování, atomová a molekulová spektra a přístroje používané při optické emisní spektroskopii. Druhá část je věnována zkoumání spekter naměřených s použitím tantalového terče v atmosféře argonu v závislosti na střední hustotě výkonu v periodě při opakovací frekvenci pulzů napětí 500 Hz, délce pulzu 200 ?s, tlaku argonu 2 Pa a kolmé i podélné vzdálenosti kolimátoru od terče 20 mm. Dále byla zkoumána také závislost koncentrace zářivých stavů střední hustotě výkonu v periodě.

Abstract:

The bachelor thesis is focused on diagnostics of pulsed magnetron discharges during the deposition of thin films by means of optical emission spectroscopy. The first part of the thesis is dedicated to methods of magnetron sputtering, atomic and molecular spectra and equipment for optical emission spectroscopy. The second part is devoted to investigation of spectra measured with the use of tantalum target in argon atmosphere in dependence on an average power loading in a period at a repetition frequency of 500 Hz, a length of the voltage pulse of 200 ?s, an argon pressure of 2 Pa and both a vertical and a longitudinal distance of the collimator from the target of 20 mm. Furthermore the dependence of a concentration of radiative states on an average power loading in a pulse is analysed.

Kľúčové slová

Tenké vrstvy, pulzní magnetronové naprašování, atomová a molekulová spektra, optická emisní spektroskopie, diagnostika plazmatu.

Jazyk práce: Czech

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 18. 6. 2012

Zverejniť od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedúci: Mgr. Andrea Dagmar Pajdarová, Ph.D.

University of West Bohemia

Faculty of Applied Sciences

Bachelor programme / odbor:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied and Engineering Physics