Plazmová polymerace tenkých vrstev s epoxidovými skupinami

Mgr. Šárka Fuková

Diplomová práce

Plasma polymerization of thin films with epoxy groups

Anotace:

Tato diplomové práce se zabývá studiem procesu plazmové polymerizace vrstev obsahující epoxidovou skupinu v nízkotlakém pulzním radiofrekvenčním kapacitně vázaném výboji za použití monomeru allyl glycidyl etheru. Povrchy funkcionalizované epoxidovou skupinou nalézají díky její vysoké reaktivitě uplatnění jako platformy pro imobilizaci biomolekul. Volbou parametrů plazmové polymerizace lze významně ovlivnit výslednou strukturu vrstvy, především její stabilitu a koncentraci funkční skupiny. V práci proto byl sledován vliv výkonu, střídy, tlaku a průtoku monomeru na chemickou strukturu, morfologii a stabilitu vrstev.

Abstract:

This thesis deals with the study of plasma polymerization of thin films with epoxy groups in low pressure radiofrequency capacitively coupled plasma using monomer allyl glycidyl ether. Thin films containing epoxy group are used as platforms for immobilization of biomolecules due to their very high reactivity. Changes of plasma parameters strongly influence structure of layer, primarily its stability and concentration of functional group. In this thesis, effects of supplied power, duty cycle, pressure and flow of monomer on chemical composition, morphology and stability of layers have been studied.

Klíčová slova

PECVD, plazmová polymerace, kapacitně vázaný výboj, epoxidová skupina, stabilita vrstvy, XPS, FTIR, plasma polymerization, capacitively coupled plasma, epoxy group, layer stability

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 11. 5. 2017

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 14. 6. 2017
• Vedoucí: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Magisterský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika plazmatu