Bc. Josef KUDĚLKA

Master's thesis

Zobrazování polovodičových struktur užitím mikroskopie atomárních sil\nl{}

Projection of Semiconductor Structures Using Atomic Force Microscopy\nl{}
Abstract:
Tato diplomová práce se zabývá principy zobrazování povrchů a měřením elektromagnetických vlastností vzorků pomocí metod vycházejících z mikroskopie atomárních sil (AFM). Největší důraz je kladen na studium polovodičových struktur s využitím kontaktního módu mikroskopie atomárních sil a skenovací mikrovlnné mikroskopie (SMM). K měření je použit mikroskopický systém Agilent 5420 SPM, který je v této …more
Abstract:
This thesis describes the principles of surface visualisation and measurements of electromagnetic properties of samples using methods based on atomic force microscopy (AFM). The main purpose is the study of semiconductor structures using contact mode atomic force microscopy and scanning microwave microscopy (SMM). These measurements were taken using the microscopy system Agilent 5420 SPM, which is …more
 

Keywords

mikroskopie skenující sondou SPM mikroskopie atomárních sil AFM skenovací mikrovlnná mikroskopie SMM
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 29. 5. 2013
Accessible from:: 29. 5. 2013

Thesis defence

  • Supervisor: Ing. Milan Navrátil, Ph.D.

Citation record

Cite this text
The right form of listing the thesis as a source quoted

KUDĚLKA, Josef. Zobrazování polovodičových struktur užitím mikroskopie atomárních sil\nl{}. Zlín, 2013. diplomová práce (Ing.). Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta aplikované informatiky

Full text of thesis

Accessibility: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti od 29.5.2013

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • Soubory jsou od 29. 5. 2013 dostupné: autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, Fakulta aplikované informatiky
Plny text prace je k dispozici v elektronicke podobe
https://portal.utb.cz/stag?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=31283 Reference to the local database file of the institution