Zobrazování polovodičových struktur užitím mikroskopie atomárních sil\nl{}

Bc. Josef KUDĚLKA

Diplomová práce

Projection of Semiconductor Structures Using Atomic Force Microscopy\nl{}

Anotace:

Tato diplomová práce se zabývá principy zobrazování povrchů a měřením elektromagnetických vlastností vzorků pomocí metod vycházejících z mikroskopie atomárních sil (AFM). Největší důraz je kladen na studium polovodičových struktur s využitím kontaktního módu mikroskopie atomárních sil a skenovací mikrovlnné mikroskopie (SMM). K měření je použit mikroskopický systém Agilent 5420 SPM, který je v této práci rovněž popsán.

Abstract:

This thesis describes the principles of surface visualisation and measurements of electromagnetic properties of samples using methods based on atomic force microscopy (AFM). The main purpose is the study of semiconductor structures using contact mode atomic force microscopy and scanning microwave microscopy (SMM). These measurements were taken using the microscopy system Agilent 5420 SPM, which is also described in this thesis.

Klíčová slova

mikroskopie skenující sondou, SPM, mikroskopie atomárních sil, AFM, skenovací mikrovlnná mikroskopie, SMM

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 29. 5. 2013

Zveřejnit od: 29. 5. 2013

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Ing. Milan Navrátil, Ph.D.

Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně

Fakulta aplikované informatiky

Magisterský studijní program / obor:
Inženýrská informatika / Bezpečnostní technologie, systémy a management