Deposition of functional thin films by plasma processes – Bc. Petr SEZEMSKÝ
Bc. Petr SEZEMSKÝ
Diplomová práce
Deposition of functional thin films by plasma processes
Abstract:
An aim of this work is a research of a deposition process of indium tin oxide by plasma assisted methods. The thesis deals with plasma diagnostics, e.g. Langmuir probe diagnostics and optical emission spectroscopy, as well as describes experiments of film deposition including their diagnostics, e.g. absorption spectroscopy, X-ray diffractometry and atomic force microscopy.
Jazyk práce: angličtina
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 12. 2016
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: doc. RNDr. Vítězslav Straňák, Ph.D.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
SEZEMSKÝ, Petr. Deposition of functional thin films by plasma processes. Č. Budějovice, 2016. diplomová práce (Mgr.). JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH. Přírodovědecká fakulta
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH, Přírodovědecká fakultaJIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH
Přírodovědecká fakultaMagisterský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzikální měření a modelování
Práce na příbuzné téma
- Žádné práce na příbuzné téma.
Název
Vložil
Vloženo
Práva