Deposition of functional thin films by plasma processes – Bc. Petr SEZEMSKÝ
Bc. Petr SEZEMSKÝ
Master's thesis
Deposition of functional thin films by plasma processes
Abstract:
An aim of this work is a research of a deposition process of indium tin oxide by plasma assisted methods. The thesis deals with plasma diagnostics, e.g. Langmuir probe diagnostics and optical emission spectroscopy, as well as describes experiments of film deposition including their diagnostics, e.g. absorption spectroscopy, X-ray diffractometry and atomic force microscopy.
Jazyk práce: English
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 12. 2016
Obhajoba závěrečné práce
- Vedúci: doc. RNDr. Vítězslav Straňák, Ph.D.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
SEZEMSKÝ, Petr. Deposition of functional thin films by plasma processes. Č. Budějovice, 2016. diplomová práce (Mgr.). JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH. Přírodovědecká fakulta
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH, Přírodovědecká fakultaUNIVERSITY OF SOUTH BOHEMIA IN ČESKÉ BUDĚJOVICE
Faculty of ScienceMaster programme / odbor:
Physics / Physical Measurements and Modelling
Práce na příbuzné téma
- Žádné práce na příbuzné téma.
Názov
Vložil
Vložené
Práva