Zuzana ČIPEROVÁ

Bakalářská práce

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N

Reactive magnetron sputtering of Ti-Ni-N thin films
Anotace:
Předmětem této práce bylo vytvoření tří tenkých vrstev Ti-Ni-N pomocí reaktivního magnetronového naprašování. Byl zkoumán vliv parciálního tlaku dusíku na strukturu, depoziční rychlost, lineární drsnost a mechanické vlastnosti připravených vrstev. Vrstvy byly připraveny v DC režimu za použití dvou titan-niklových terčů. Vzdálenost terčů od substrátů byla nastavena na dS-T = 60 mm, teplota na substrátu …více
Abstract:
Subject of the thesis was reactive magnetron sputtering of three Ti-Ni-N thin films. The work focuses on the influence of partial pressure of nitrogen on the deposition rate, the roughness and the mechanical properties of deposited thin films. The thin films were prepared in DC mode using two titanium-nickel targets. Distance between targets and substrates was dS-T = 60 mm, temperature on substrate …více
 
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 29. 5. 2014
Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.

Citační záznam

Jak správně citovat práci

ČIPEROVÁ, Zuzana. Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N. Plzeň, 2014. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd

Plný text práce

Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných věd
Vázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/