Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N – Zuzana ČIPEROVÁ
Zuzana ČIPEROVÁ
Bachelor's thesis
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Reactive magnetron sputtering of Ti-Ni-N thin films
Abstract:
Předmětem této práce bylo vytvoření tří tenkých vrstev Ti-Ni-N pomocí reaktivního magnetronového naprašování. Byl zkoumán vliv parciálního tlaku dusíku na strukturu, depoziční rychlost, lineární drsnost a mechanické vlastnosti připravených vrstev. Vrstvy byly připraveny v DC režimu za použití dvou titan-niklových terčů. Vzdálenost terčů od substrátů byla nastavena na dS-T = 60 mm, teplota na substrátu …moreAbstract:
Subject of the thesis was reactive magnetron sputtering of three Ti-Ni-N thin films. The work focuses on the influence of partial pressure of nitrogen on the deposition rate, the roughness and the mechanical properties of deposited thin films. The thin films were prepared in DC mode using two titanium-nickel targets. Distance between targets and substrates was dS-T = 60 mm, temperature on substrate …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 29. 5. 2014
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Supervisor: Prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.
Citation record
The right form of listing the thesis as a source quoted
ČIPEROVÁ, Zuzana. Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N. Plzeň, 2014. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesBachelor programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied and Engineering Physics
Theses on a related topic
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Sergei ZENKIN -
Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu
Kristína Tomanková -
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Roman SPLÍTEK -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev CrCuO
Martin JAROŠ