Mgr. Marta Šlapanská

Bachelor's thesis

Vizualizace ionizačních center při naprašování pulzy velkého výkonu

Visualization of the ionization center during high power pulse magnetron sputtering
Abstract:
Tato bakalářská práce se věnuje vizualizaci ionizačních center, také označovaných jako nehomogenity plazmatu či spoky, při magnetronovém naprašování pulzy velkého výkonu. V práci je popsán základní princip několika metod naprašování tenkých vrstev a uvedení do problematiky spoků. Tyto spoky byly pozorovány pomocí rychlé kamery. Byla navrhnuta metodika zpracování vyfotografovaných snímků, pomocí které …more
Abstract:
This thesis was dedicated to the visualization of the ionization center (spokes) during high power pulse magnetron sputtering. In this thesis the basic principle of several methods of sputtering thin films is described. Spokes were studied using fast camera. Methodology of processing of the images was designed. By this methodology the number and speed of spokes was determined. The influence of the …more
 

Keywords

plazma magnetronové naprašování HiPIMS ionizační zóny spoky
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 20. 5. 2015
Identifier: https://is.muni.cz/th/k3j53/

Thesis defence

  • Date of defence: 23. 6. 2015
  • Supervisor: Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution