Vizualizace ionizačních center při naprašování pulzy velkého výkonu

Mgr. Marta Šlapanská

Bakalářská práce

Visualization of the ionization center during high power pulse magnetron sputtering

Anotace:

Tato bakalářská práce se věnuje vizualizaci ionizačních center, také označovaných jako nehomogenity plazmatu či spoky, při magnetronovém naprašování pulzy velkého výkonu. V práci je popsán základní princip několika metod naprašování tenkých vrstev a uvedení do problematiky spoků. Tyto spoky byly pozorovány pomocí rychlé kamery. Byla navrhnuta metodika zpracování vyfotografovaných snímků, pomocí které byl zjištěn jak počet spoků, tak jejich rychlost. Dále byl zkoumán vliv magnetického pole na počet a rychlost spoků.

Abstract:

This thesis was dedicated to the visualization of the ionization center (spokes) during high power pulse magnetron sputtering. In this thesis the basic principle of several methods of sputtering thin films is described. Spokes were studied using fast camera. Methodology of processing of the images was designed. By this methodology the number and speed of spokes was determined. The influence of the magnetic field on the number and speed of spokes was studied.

Klíčová slova

plazma, magnetronové naprašování, HiPIMS, ionizační zóny, spoky

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 5. 2015

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 23. 6. 2015
• Vedoucí: Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika