Analýza a vytváření povlaků na bázi oxidů kovů RF magnetronovým naprašováním pro použití v plynových senzorech

Hana PUPÍKOVÁ

Bachelor's thesis

Analyses and RF magnetron depositions of metal oxide coatings for gas sensors

Anotácia:

Bakalářská práce se zabývá analýzou a vytvářením povlaků na bázi oxidů kovů RF magnetronovým naprašováním pro použití v plynových senzorech. Železem dopované vrstvy oxidu cíničitého byly zkoumány rentgenovou fotoelektronovou spektroskopií, skenovací elektronovou mikroskopií a spektroskopickou elipsometrií. Elipsometrické měření v kombinaci s efektem resonance povrchových plasmonů na vrstvě Fe:SnO2/Au je vhodné pro detekci plynů. Senzorem můžeme detekovat nízké koncentrace toxického oxidu uhelnatého (až 0,5 ppm) nebo metanu (10 ppm).

Abstract:

This bachelor thesis is concerned on analyses and RF magnetron depositions of metal oxide coatings for gas sensors. The iron doped SnO2 coatings were studied by X-ray photoelectron spectroscopy, scanning electron microscopy and spectroscopic ellipsometry. Ellipsometric measurements in combination with the surface plasmon resonance (SPR) effect on Fe:SnO2/Au layers are suitable for gas detection. The sensor is able to detect in low concentration range the toxic gas carbon monoxide (down to 0,5 ppm) or methane (10 ppm).

Kľúčové slová

plynový senzor, rezonance povrchových plazmonů, železem dopovaný oxid cínu

Jazyk práce: Czech

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 23. 6. 2011

Zverejniť od: 1. 1. 2099

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 6. 9. 2011
• Vedúci: Ing. Martin Kormunda, Ph.D.

JAN EVANGELISTA PURKYNĚ UNIVERSITY IN ÚSTÍ NAD LABEM

Faculty of Science

Bachelor programme / odbor:
Physics / Fyzika-Matematika