Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD – Mgr. Eliška Mikmeková, Ph.D.
Mgr. Eliška Mikmeková, Ph.D.
Bachelor's thesis
Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD
The thermal stability of films prepared by PE-CVD
Abstract:
Cílem této práce je určit teplotní stabilitu vrstev vytvořených metodou PE-CVD, v rozmezí 25C-1000C, pomocí termodesorpční spektrometrie. Vrstvy byly zahřívány v elektrické laboratorní peci (konstantní zahřívací rychlostí) a plyn desorpující z povrchu byl analyzován kvadrupólovým hmotnostním spektrometrem, kde lze nastavit hmoty, které chceme detekovat. Výsledky byly vyhodnoceny v programu Origin a …moreAbstract:
The thermal stability was studied at series of films. Films were prepared by method PE-CVD. The thermal stability of samples was studied by means of thermal desorption spectroscopy (TDS) in the range (25-1000)C. The studied sample was placed into vacuum chamber heated with constant heating rate. Thermal stability of samples was investigated for different heating rates - 10 C /min., 7.5 C/min and 5 …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 26. 5. 2006
Identifier:
https://is.muni.cz/th/g78d4/
Thesis defence
- Date of defence: 27. 6. 2007
- Supervisor: doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Applied Physics / Astrophysics
Theses on a related topic
-
Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD
Ján Dugáček -
Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD
Vladimír Ježek -
Alternativní přístupy přípravy tenké vrstvy nitridu hliníku pomocí metody depozice atomárních vrstev
Rashid Dallaev -
Vysokoteplotní vrstvy Si-B-C-N a multifunkční vrstvy (Zr)-B-C-(N) připravené pulzním magnetronovým naprašováním
Petr STEIDL -
Alternativní přístupy přípravy tenké vrstvy nitridu hliníku pomocí metody depozice atomárních vrstev
Rashid Dallaev -
Tenké vrstvy pro biomedicínské a environmentální aplikace
Sana Al Hourani -
Rotačně nanášené Er\hindex{3+} a Er\hindex{3+}/Yb\hindex{3+} dopované tenké vrstvy GeS\dindex{2} a (GeS\dindex{2})\dindex{80}(Ga\dindex{2}S\dindex{3})\dindex{10}(Sb\dindex{2}S\dindex{3})\dindex{10}
Tomáš Halík -
Studium povrchových vlastností tenké vrstvy PEDOT:DBSA
Boris Bellan