Zpět na vyhledávání

Mgr. Eliška Mikmeková, Ph.D.

Bakalářská práce

Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD

The thermal stability of films prepared by PE-CVD
Anotace:
Cílem této práce je určit teplotní stabilitu vrstev vytvořených metodou PE-CVD, v rozmezí 25C-1000C, pomocí termodesorpční spektrometrie. Vrstvy byly zahřívány v elektrické laboratorní peci (konstantní zahřívací rychlostí) a plyn desorpující z povrchu byl analyzován kvadrupólovým hmotnostním spektrometrem, kde lze nastavit hmoty, které chceme detekovat. Výsledky byly vyhodnoceny v programu Origin a …více
Abstract:
The thermal stability was studied at series of films. Films were prepared by method PE-CVD. The thermal stability of samples was studied by means of thermal desorption spectroscopy (TDS) in the range (25-1000)C. The studied sample was placed into vacuum chamber heated with constant heating rate. Thermal stability of samples was investigated for different heating rates - 10 C /min., 7.5 C/min and 5 …více
 

Klíčová slova

termální stabilita tenké vrstvy hmotnostní spektrometrie metoda PE-CVD
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 26. 5. 2006
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/g78d4/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 27. 6. 2007
  • Vedoucí: doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce