Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice termochromických vrstev na bázi VO2

Michal KAUFMAN

Bakalářská práce

Anotace:

Tato práce je zaměřena na reaktivní depozici termochromických vrstev VO2 pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového zdroje HiPIMS. Jsou zde popsány unikátní vlastnosti tohoto oxidu, způsob jeho syntézy s využitím zpětnovazebního řízení RGFC a možnost zvýšení transmitance ve viditelném spektru přidáním antireflexní vrstvy. Uveden je též detailní popis vakuové depoziční aparatury a přístrojů pro měření vlastností jednotlivých vzorků, jako je například spektrofotometr či čtyřbodová metoda.

Abstract:

This thesis is focused on the reactive deposition of VO2 thermochromic thin films using High-Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS). It describes the unique properties of this oxide, the method of its synthesis using the Reactive Gas Flow Control (RGFC) and the possibility of increasing the transmittance in the visible spectrum by adding an anti-reflective coating. A detailed description of the vacuum deposition apparatus and instruments for measuring the properties of individual samples, such as a spectrophotometer or a four-point method, is also given.

Klíčová slova

oxid vanadičitý, termochromické vrstvy, reaktivní magnetronové naprašování, HiPIMS, antireflexní vrstva

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 10. 7. 2017

Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta aplikovaných věd

Bakalářský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná a inženýrská fyzika