Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev – Bc. Roman Přibyl
Bc. Roman Přibyl
Diplomová práce
Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev
Development of plasma enhanced chemical vapor technology for improvement of polymer thin films utility properties
Anotace:
Diplomová práce je věnována studiu tenkých vrstev v~závislosti na depozičních\linebreak podmínkách a dále je zaměřená na vývoj vakuového reaktoru pro depozici polymerních vrstev z~organosilikonových a organosilazanových prekurzorů v~reaktivním kapacitně\linebreak vázaném radiofrekvenčním doutnavém výboji. Vrstvy byly deponované ze směsi kyslíku a hexamethyldisilazanu (HMDSZ, $\rm C_6H_{19}NSi_2$) nebo …víceAbstract:
The present thesis is focused on the study of thin films properties dependent on deposition conditions and the development of a low pressure capacitively coupled radio-frequency PECVD reactor for the preparation of plasma-polymer thin films from organosilazane and organosilicon precursors. Thin films were growth from mixtures of hexamethyldisilazane (HMDSZ, $\rm C_6H_{19}NSi_2$) or hexamethyldisiloxane …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 2. 6. 2020
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/xphdr/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 1. 7. 2020
- Vedoucí: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
- Oponent: doc. Mgr. Pavel Slavíček, Ph.D.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
PŘIBYL, Roman. \textit{Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev}. Online. Diplomová práce. Brno: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta. 2020. Dostupné z: https://theses.cz/id/yelul8/.
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaMagisterský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika plazmatu
Práce na příbuzné téma
-
Alternativní přístupy přípravy tenké vrstvy nitridu hliníku pomocí metody depozice atomárních vrstev
Rashid Dallaev -
Vysokoteplotní vrstvy Si-B-C-N a multifunkční vrstvy (Zr)-B-C-(N) připravené pulzním magnetronovým naprašováním
Petr STEIDL -
Alternativní přístupy přípravy tenké vrstvy nitridu hliníku pomocí metody depozice atomárních vrstev
Rashid Dallaev -
Tenké vrstvy pro biomedicínské a environmentální aplikace
Sana Al Hourani -
Rotačně nanášené Er\hindex{3+} a Er\hindex{3+}/Yb\hindex{3+} dopované tenké vrstvy GeS\dindex{2} a (GeS\dindex{2})\dindex{80}(Ga\dindex{2}S\dindex{3})\dindex{10}(Sb\dindex{2}S\dindex{3})\dindex{10}
Tomáš Halík -
Příprava a strukturování tenké vrstvy oxidu vanadičitého pro nanofotoniku
Jiří Spousta -
Příprava a charakterizace fotovoltaických článků obsahujících tenké vrstvy a nanostruktury
Andrii Rishko -
Tenké vrstvy hyaluronátu sodného na hladkých površích
Magdalena Koutná