Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev – Bc. Roman Přibyl
Bc. Roman Přibyl
Master's thesis
Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev
Development of plasma enhanced chemical vapor technology for improvement of polymer thin films utility properties
Abstract:
Diplomová práce je věnována studiu tenkých vrstev v~závislosti na depozičních\linebreak podmínkách a dále je zaměřená na vývoj vakuového reaktoru pro depozici polymerních vrstev z~organosilikonových a organosilazanových prekurzorů v~reaktivním kapacitně\linebreak vázaném radiofrekvenčním doutnavém výboji. Vrstvy byly deponované ze směsi kyslíku a hexamethyldisilazanu (HMDSZ, $\rm C_6H_{19}NSi_2$) nebo …moreAbstract:
The present thesis is focused on the study of thin films properties dependent on deposition conditions and the development of a low pressure capacitively coupled radio-frequency PECVD reactor for the preparation of plasma-polymer thin films from organosilazane and organosilicon precursors. Thin films were growth from mixtures of hexamethyldisilazane (HMDSZ, $\rm C_6H_{19}NSi_2$) or hexamethyldisiloxane …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 2. 6. 2020
Identifier:
https://is.muni.cz/th/xphdr/
Thesis defence
- Date of defence: 1. 7. 2020
- Supervisor: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
- Reader: doc. Mgr. Pavel Slavíček, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
PŘIBYL, Roman. \textit{Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev}. Online. Master's thesis. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2020. Available from: https://theses.cz/id/yelul8/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / field:
Physics / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Alternativní přístupy přípravy tenké vrstvy nitridu hliníku pomocí metody depozice atomárních vrstev
Rashid Dallaev -
Vysokoteplotní vrstvy Si-B-C-N a multifunkční vrstvy (Zr)-B-C-(N) připravené pulzním magnetronovým naprašováním
Petr STEIDL -
Alternativní přístupy přípravy tenké vrstvy nitridu hliníku pomocí metody depozice atomárních vrstev
Rashid Dallaev -
Tenké vrstvy pro biomedicínské a environmentální aplikace
Sana Al Hourani -
Rotačně nanášené Er\hindex{3+} a Er\hindex{3+}/Yb\hindex{3+} dopované tenké vrstvy GeS\dindex{2} a (GeS\dindex{2})\dindex{80}(Ga\dindex{2}S\dindex{3})\dindex{10}(Sb\dindex{2}S\dindex{3})\dindex{10}
Tomáš Halík -
Tenké vrstvy hyaluronátu sodného na hladkých površích
Magdalena Koutná -
Příprava a charakterizace fotovoltaických článků obsahujících tenké vrstvy a nanostruktury
Andrii Rishko -
Příprava a strukturování tenké vrstvy oxidu vanadičitého pro nanofotoniku
Jiří Spousta