Bc. Roman Přibyl

Master's thesis

Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev

Development of plasma enhanced chemical vapor technology for improvement of polymer thin films utility properties
Anotácia:
Diplomová práce je věnována studiu tenkých vrstev v~závislosti na depozičních\linebreak podmínkách a dále je zaměřená na vývoj vakuového reaktoru pro depozici polymerních vrstev z~organosilikonových a organosilazanových prekurzorů v~reaktivním kapacitně\linebreak vázaném radiofrekvenčním doutnavém výboji. Vrstvy byly deponované ze směsi kyslíku a hexamethyldisilazanu (HMDSZ, $\rm C_6H_{19}NSi_2$) nebo …viac
Abstract:
The present thesis is focused on the study of thin films properties dependent on deposition conditions and the development of a low pressure capacitively coupled radio-frequency PECVD reactor for the preparation of plasma-polymer thin films from organosilazane and organosilicon precursors. Thin films were growth from mixtures of hexamethyldisilazane (HMDSZ, $\rm C_6H_{19}NSi_2$) or hexamethyldisiloxane …viac
 
 
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 2. 6. 2020

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 1. 7. 2020
  • Vedúci: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
  • Oponent: doc. Mgr. Pavel Slavíček, Ph.D.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta