Bc. Stanislava Debnárová

Diplomová práce

Příprava perspektivních nanolaminátů pomocí magnetronového naprašování a jejich charakterizace

Preparation of perspective nanolaminates by magnetron sputtering and their characterisation
Abstract:
This work deals with the preparation and subsequent diagnosis of thin W-B-C thin films. These thin films are deposited by magnetron sputtering from three targets. The effect of their composition and the deposition parameters on the structure and properties of the thin films is investigated. The composition of the thin films is determined using energy-dispersive X-ray spectrometry. The crystal structure …více
Abstract:
Táto práca sa zaoberá prípravou a následnou diagnostikou tenkých W-B-C vrstiev. Tieto vrstvy sú deponované pomocou magnetrónového naprašovania z troch terčov. Je skúmaný vplyv zloženia a depozičných parametrov na štruktúru a vlastnosti vrstiev. Pomocou energiovo disperznej röntgenovej spektrometrie je skúmané zloženie vrstiev a pomocou röntgenovej difraktometrie je skúmaná kryštálová štruktúra. Na …více
 
 
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 11. 5. 2017

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 14. 6. 2017
  • Vedoucí: Mgr. Pavel Souček, Ph.D.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta