Mgr. Dana Skácelová, Ph.D.

Disertační práce

Modification of semiconductors and oxides in plasma generated at atmospheric pressure

Modification of semiconductors and oxides in plasma generated at atmospheric pressure
Anotace:
Tato disertační práce je věnována studiu modifikace polovodičů a jejich oxidů v plazmatu generovaném za atmosférického tlaku. Jako zdroj plazmatu byl použit difúzní koplanární povrchový bariérový výboj (DCSBD) buzený za atmosférického tlaku v různých pracovních plynech. Byl zkoumán vliv plazmatu na změnu povrchových vlastností krystalického křemíku a SiO2. V závislosti na době expozice, pracovním plynu …více
Abstract:
This thesis is dedicated to the study of modification of semiconductors and their oxides in plasma generated at atmospheric pressure. The plasma modification was carried out using Diffuse Coplanar Surface Barrier Discharge (DCSBD) operating in ambient air and in various gases and their mixtures. The influence of plasma modification on the crystalline silicon surface and silicon dioxide properties were …více
 
 
Jazyk práce: angličtina
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 4. 11. 2014

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 1. 12. 2014
  • Vedoucí: prof. RNDr. Mirko Černák, CSc.
  • Oponent: doc. RNDr. Petr Sládek, CSc., doc. RNDr. Miroslav Zahoran, CSc.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta