Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Disertační práce

Komplexní diagnostika reaktivního plazmatu doutnavého výboje

Complex diagnostics of reactive glow discharges
Anotace:
Dizertační práce "Komplexní diagnostika reaktivního plazmatu doutnavého výboje" se věnuje převážně diagnostice nízkotlakého, vodíkového, vysokofrekvenčního (13,56\,MHz), kapacitně vázaného výboje. Experimenty byly prováděny v kulovém vakuovém reaktoru z nerezové oceli se dvěma rovnoběžnými kruhovými elektrodami, z nichž jedna byla zemněná a na druhou bylo přivedeno vf. napětí. K diagnostice byla použita …více
Abstract:
The main object of this work was the diagnostics of the low-pressure, high-frequency, capacitively coupled hydrogen plasma. The experiments were carried out in a spherical stainless steel reactor with two horizontally mounted, parallel, stainless steel electrodes of 80 mm in diameter. The upper electrode, embedded in a grounded ring, was driven at the frequency of 13.56 MHz. The bottom electrode was …více
 
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 25. 1. 2006

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 25. 1. 2006
  • Vedoucí: prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta