Automatické seřízení elektronového mikroskopu

Bc. Tomáš Mach

Master's thesis

Automatic Adjustment of Electron Microscope

Abstract:

The goal of this thesis was creation of a program, which can automatically focus a scanning electron microscope and correct astigmatism. Two methods for focusing and astigmatism correction were tested. First based on FFT of an image and second based on image variance. Procedure for automatic adjustment of a video amplifier, which adjusts brightness and contrast, was also proposed. Program was implemented in C# programming language and integrated into electron microscope controlling system used in Delong Instruments a.s. company.

Abstract:

Cieľom mojej práce bolo vytvorenie programu, ktorý dokáže automaticky zaostriť elektrónový mikroskop a odstrániť prípadný astigmatizmus obrazu. Otestované boli metódy ostrenia a korekcie astigmatizmu založené na FFT a variancii obrazu. Taktiež bol pre jednotlivé procedúry zvolený optimálny vyhľadávací algoritmus. Ďalej bol navrhnutý postup pre automatické nastavenie videozosilňovača, ktorý riadi úpravu jasu a kontrastu analógového video signálu z mikroskopu. Program bol implementovaný v jazyku C# a zakomponovaný do stávajúceho riadiaceho systému elektrónového mikroskopu vo firme Delong Instruments a.s..

Kľúčové slová

SEM, astigmatizmus, zaostrenie mikroskopu, FFT, variancia obrazu SEM, astigmatism, microscope focusing, image vaariance

Jazyk práce: Slovak

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 23. 5. 2008

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 1. 7. 2008
• Vedúci: RNDr. Radek Ošlejšek, Ph.D.
• Oponent: prof. RNDr. Michal Kozubek, Ph.D.

Masaryk University

Faculty of Informatics

Master programme / odbor:
Applied Informatics / Applied Informatics