Bc. Vladimír Ježek

Bakalářská práce

Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD

Investigation of thermal stability of thin films prepared by PE-CVD
Anotace:
Předmětem této bakalářské práce bylo studium teplotní stability Diamond Like Carbon-DLC vrstev vytvořených metodou Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition- PE-CVD. Byla použita metoda termodesorpční spektrometrie v teplotním intervalu 20C - 1000C. Vzorky byly zahřívány při stálém růstu teploty 10ºC/min. v laboratorní peci a desorbující se plyn byl analyzován hmotnostním spektrometrem. Výsledky …více
Abstract:
Thermal stability of thin DLC (Diamond Like Carbon) films prepared by PE-CVD is ivestigated in this batchelor these. The thermal desorption spectroscopy (TDS) has been used. Samples were heated up to 1000ºC with constant heating rate 10ºC/min. And desorbed gas was analysed by means of mass spectrometer. Result were processed by Talk star and Exodifuse programs. The graphs of ion current relation on …více
 
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 23. 5. 2008

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 3. 2. 2009
  • Vedoucí: doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta