Příprava vrstevy typu Mo2BC pomocí pulzního magnetronového naprašování a jejich analýza – Mgr. Stanislava Debnárová
Mgr. Stanislava Debnárová
Bachelor's thesis
Příprava vrstevy typu Mo2BC pomocí pulzního magnetronového naprašování a jejich analýza
Preparation of Mo2BC type thin films by pulsed magnetron sputtering and their analysis
Abstract:
This work concentrates on the preparation and diagnosis of Mo2BC thin films prepared by simultaneous magnetron sputtering from three targets. Pusled DC plasma was used, which increased the number of ions impacting on the substrate. That reduced the temperature required for the formation of crystalline coatings. In this work, the optimal deposition conditions with focus on the ion flux to the substrate …moreAbstract:
Táto práca sa zaoberá prípravou a diagnostikou Mo2BC vrstiev, pripravených magnetrónovým naprašovaním z troch terčov. Bola použitá plazma budená pulzmi, ktorá zvyšovala počet iónov dopadajúcich na substrát, čím sa znížila teplota potrebná na tvorbu kryštalických vrstiev. V práci sa hľadajú optimálne podmienky na depozíciu vzhľadom k maximalizácii toku iónov na substrát a stabilitu procesu. Pri týchto …more
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 20. 5. 2015
Identifier:
https://is.muni.cz/th/nemdo/
Thesis defence
- Date of defence: 23. 6. 2015
- Supervisor: Mgr. Pavel Souček, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
DEBNÁROVÁ, Stanislava. \textit{Příprava vrstevy typu Mo2BC pomocí pulzního magnetronového naprašování a jejich analýza}. Online. Bachelor's thesis. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2015. Available from: https://theses.cz/id/0j3wvg/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Applied Physics / Nanotechnology - Applied Physics
Theses on a related topic
-
Vysokoteplotní vrstvy Si-B-C-N a multifunkční vrstvy (Zr)-B-C-(N) připravené pulzním magnetronovým naprašováním
Petr STEIDL -
Development of ternary and quaternary nanostructured coatings and their preparation by magnetron sputtering
Stanislava Debnárová -
Dekorativní tenké vrstvy na bázi chromu připravené metodou magnetronového naprašování
Ivana Venkrbcová -
Tenké vrstvy Sn-Cu-O a Sn-Cu-N vytvářené magnetronovým naprašováním
Martin HROMÁDKA -
Multikomponentní nanokompozitní vrstvy připravené pulzním magnetronovým naprašováním
Michal PROCHÁZKA -
Multikomponentní vrstvy s vysokou teplotní stabilitou připravené pulzním reaktivním magnetronovým naprašováním
Veronika ŠÍMOVÁ